主な クリーン 清浄度規格 |
日本工業 標準調査会 JIS−B−9920 |
国際標準 機構 ISO−14644 |
半導体 工業 (SEMIなど) |
ガードナー基準 (レベルの相対) |
| 基準粒径分布 |
0.1μm以上 |
| 単位体積 |
立方メートル |
1立方 フィート |
| クラス表示 |
クラス 1 |
ISO 1 |
クラス 1 |
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| クラス 2 |
ISO 2 |
10 |
| クラス 3 |
ISO 3 |
100 |
| クラス 4 |
ISO 4 |
1,000 |
| クラス 5 |
ISO 5 |
10,000 |
| クラス 6 |
ISO 6 |
100,000 |
| クラス 7 |
ISO 7 |
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| クラス 8 |
ISO 8 |
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主な クリーン 清浄度規格 |
米国連邦 規格 209D |
| 基準粒径分布 |
0.5μm以上 |
| 単位体積 |
1立方 フィート |
| クラス表示 |
1 |
| 10 |
| 100 |
| 1,000 |
| 10,000 |
| 100,000 |
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